Еволюція структури та фізичних властивостей кремнію, стимульована магнітним полем
01.04.07 – фізика твердого тіла
к.ф.-м.н.

Дисертацію присвячено вивченню впливу магнітних полів, низько енергетичного рентгенівського випромінювання, ультразвуку, деформації на структурні, магнітні, електрофізичні та мікромеханічні характеристики кристалів кремнію, що використовується для потреб мікроелектроніки та для потреб сонячної енергетики.
Експериментально встановлено зв’язок між дією факторів зовнішнього впливу (температура деформування та дія магнітного поля) та станом парамагнітних центрів в кристалах кремнію для мікроелектроніки. Виявлено магнітостимульований ефект збагачення поверхні кремнію для мікроелектроніки домішками та його посилення в присутності дислокацій.
На основі експериментально отриманих результатів запропоновано фізичний механізм магнітостимульованої дефектно-домішкової перебудови та зв’язок цієї перебудови зі зміною параметра гратки в кристалах кремнію для мікроелектроніки.
Показано, що як окрема дія технологічних обробок (рентгенівських, ультразвукових) так і комбінування їх з магнітною дією приводить до еволюції структури та фізичних характеристик (півширини дифракційних піків, кінетики спаду фото-ЕРС) кристалів кремнію для мікроелектроніки.
Встановлені особливості кінетики спаду фотопровідності та фото-ЕРС в кристалах кремнію для потреб сонячної енергетики при дії на них магнітного поля пов’язані зі зміною в цих кристалах дефектно-домішкового та зарядового стану приповерхневих шарів при магнітній обробці.
Ключові слова: кремній, дислокації, домішки, структурна досконалість, поверхня кремнію, слабке магнітне поле, деформація, кавітація, рентгенівське випромінювання, фотопровідність, фото-ЕРС, електричний потенціал.