Особливості фототермічного та фотоакустичного перетворення в неоднорідних структурах на основі кремнію.
01.04.07 – фізика твердого тіла
к.ф.-м.н.

Дисертаційна робота присвячена дослідженню процесів фототермічного та фотоакустичного перетворення в неоднорідних структурах на основі кремнію. Показано вплив структурної неоднорідності на формування та еволюцію температурних профілів у таких структурах при їх опроміненні прямокутно-модульованим та імпульсним лазерним випроміненням. Запропоновано модель формування фотоакустичного відгуку в неоднорідних мультишарових системах при їх опромінені прямокутно-модульованим випроміненням. Проведені експериментальні дослідження форми фотоакустичного відгуку, отриманого від структур типу «поруватий кремній на монокристалічній підкладці», показали якісну і кількісну кореляцію з результатами моделювання.

Запропоновано модель формування фотоакустичного відгуку в напівпровідникових матеріалах з структурною неоднорідністю приповерхневого шару при їх опроміненні імпульсним лазерним випроміненням. Експериментальні дослідження параметрів фотоакустичного відгуку, отриманих від кремнію з поверхнево модифікованим шаром, показали якісну кореляцію з результатами моделювання. Використання запропонованої моделі дало також змогу описати вплив температурної залежності коефіцієнта температуропровідності досліджуваного зразка на параметри фотоакустичного відгуку.

Ключові слова: фотоакустичний ефект, фототермічне перетворення, напівпровідникові структури, поруватий кремній, леговані напівпровідники, приповерхневий шар, тонкі кремнієві плівки.